★3D光學輪廓/粗度儀(白光干涉儀)手動平台、電動平台、便攜型

    ※適用於:LCD,LED,Micro lens,MEMS,半導體,生物晶片,金屬陶瓷玻璃等微結構表面形狀參數研究..

    ※量測項目:2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,平面度,磨耗體積等微結構表面參數之量測..

    ※全自動量測,並有自動擬合功能,擴大量測面積的縫合圖形觀察..

    ※垂直測量精度:≦0.1nm:測量範圍:數nm到400um

    ※結合廣泛且多功能之MountainsMap三維輪廓和視覺化分析軟體

     ◆可搭配物鏡:手動:×5,×10,×20,×50-

                  自動:×2.5,×5,×10,×20,×50,×100

    ◆多軸手動移動平台:X,Y,Z軸及雙邊傾斜可調整

    ◆X-Y電動移動平台:75×50mm,100×100mm,130×85mm或更大....

 

 

                                                                       

 

 

 

 

 

 

 

 

 

★緊湊型白光干涉儀

   *適用於 : MEMS/半導體/LCD/LED/Micro lens生物晶片等微結構表面形狀參數研究

   *量測項目 : 2D/3D表面輪廓/粗糙度/段差/平面度磨耗體積/曲率半徑等微結構表面參數量測

  *垂直量測精度 : ≦0.1nm， 量測範圍 : 數nm到400um

  *可搭配物鏡 : x2.5/x5/x10/x20/x50/x100 手動更換物鏡

  *可搭配手動或電動量測平台: X,Y,Z軸及旋轉,雙邊傾斜平台可調整

  *可方便整合在自動量測床台上