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中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器

GBS 3D奈米顯微量測儀 (白光干涉儀)

發布日期:

3D光學輪廓/粗度儀(白光干涉儀)手動平台、電動平台、便攜型

※適用於:LCD、LED、Micro lens、MEMS、半導體、生物晶片、

        金屬陶瓷玻璃等微結構表面形狀參數研究..

※量測項目:2D/3D表面輪廓、粗糙度、膜厚、平面度、磨耗體積等微結構表面參數之量測..

※全自動量測,並有自動擬合功能,擴大量測面積的縫合圖形觀察..

※垂直測量精度:≦0.1nm:測量範圍:數nm到400um

※結合廣泛且多功能之MountainsMap三維輪廓和視覺化分析軟體

◆可搭配物鏡:手動:×5,×10,×20,×50-

                    自動:×2.5,×5,×10,×20,×50,×100

◆多軸手動移動平台:X,Y,Z軸及雙邊傾斜可調整

◆X-Y電動移動平台:75×50mm,100×100mm,130×85mm或更大....

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

★便攜型白光干涉儀

※適用於:大物件表面3D輪廓量測

※量測項目:2D/3D表面輪廓,粗度儀,膜厚,平面度,模厚,平面度,

磨耗體積,曲率半徑等微結構表面參數量測

※Z軸量測範圍;0-400mm

※X-Y電動平台:可客製化..

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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